DUV 专题

中国启动国产浸没式DUV光刻机量产，今年目标约5台

中国上海国企开始量产国产浸没式DUV光刻机，计划2026年生产约5台、2027年约20台，交付中芯国际等。设备性能落后于ASML，需长期测试，关键部件仍依赖日本。ASML股价一度跌超6%。