光刻机 专题

中国开始量产国产 DUV 光刻机 今年目标生产约 5 台 中国已开始大规模生产自主研发的浸没式深

中国开始量产国产 DUV 光刻机 今年目标生产约 5 台 中国已开始大规模生产自主研发的浸没式深紫外（ DUV ）光刻机。